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psa制氮机在电子行业中的广泛应用



标题:psa制氮机在电子行业中的广泛应用 日期:2017/12/15 15:52:44 浏览:

   半导体和集成电路制造过程的气氛保护,清洗,化学品回收等。制造了用于半导体硅行业的专用PSA制氮机,成功的取代了液氮,该系统在香港已无间歇运行。PSA制氮机具有气量大、体积小、寿命长的特点。其工作原理是以经除尘、除油、除水、除菌的洁净压缩空气作为原料,用碳分子筛作为吸附剂, 利用变压吸附的原理制取氮气。

  检查主动排水器,以免堵塞而失去排水作用。若堵塞时,可轻微打开手动阀门,封闭自排阀门再拆下主动排水器,剖析洗濯。洗濯主动排水器时,利用胰子沫洗濯即可。严禁利用汽油、甲苯、松香水等腐蚀性溶液。
  要定时观察机上三只压力表,对其压力变革作一个一样寻常记录以备设置装备部署妨碍阐发制氮机,PSA制氮机保养你做对了吗随时视察流量计和氮气纯度环境,已连结出气的氮气纯度。
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